本仪器是以光切法测量另件加工表面的微观不平度。其能判断别国家标准GB 1031-68所规定▽3-▽9级表面光洁度。
对于表面划痕、刻线或某些缺陷的深度也可用来进行测量。
光切法特点是在不破坏表面的状况下进行的。是一种间接测量方法。即要经过计算后才能确定纹痕的不平度。
测量范围不平度平均高度值
﹥0.8～1.6微米
